
1961年诞生了世界上最早的洁净室标准即美国空军技术条令203,并把编制联邦政府标准的任务交给了原子能委员会的出版机构。1963年底颁发了洁净室第一个军用部分的联邦标准即FS209(按:美国国家标准为ANSI)。从此,美国联邦标准209 即成为国际上最通行、最著名的洁净室标准。如果说当时通过对各类生产环境洁净度进行大量调研后得到的认识一洁净室内尘粒分布规律基本上接近对数正态分布,从而提出了这一分布的平行线关系,是标准203的重要基石,那么美国的威利斯·华德弗尔德提出的关于洁净室的层流概念(这不是流体力学上的同一概念)则是标准209的理论基石,也是后来各种洁净室标准的基础。
1966年颁布了修订后的209A,1973年又颁布了修订的209B,并于1976年再次颁行了 209B修正案1。
在这一段时期里,许多国家也相继制定了洁净室的标准,其内容特别是洁净度分级基本参照美国标准。
但是,由于滥用联邦标准209B,加之原标准中一些概念不清,以及对所谓10级、1级洁净度的需要,促使美国修改209B。这一工作首先由IES(美国环境科学协会)发起,经GSA(美国总务管理局)认可和授权,成立了RP-50委员会,包括来自政府、微电子公司、仪器制造厂的人员,洁净室顾问、洁净室用户及洁净室测试人员,终于在1987年10月27日颁发了FS209C。209C又于1988年6月15日被新的209D所取代,209D又于1992年3月11日被209E取代,